Konstrukce ventilu pro regulaci tlaku s příčným průtokem jsou atraktivní pro aplikace s řízením vysokého průtoku díky menší požadované ovládací síle a zmenšené ploše zařízení. Bylo vyrobeno nožové šoupátko, které řídí průtok 1,3 Nl/min při napájecím tlaku 1,5 bar. Ventil byl mikrovyroben pomocí hlubokého reaktivního iontového leptání (DRIE) a silikonové fúzní vazby. Použití mikroobráběných nožových šoupátek v systémech regulace tlaku zvyšuje výkon a lze dosáhnout úspor nákladů.
Nožový šoupátkový ventil
Odeslat dotaz